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PSVL40-160U/240U紧凑型线性纳米定位台，沿Z方向可提供160μm/240U(闭环)或更大行程的运动。其紧凑的设计使其成为许多光子学和光纤定位应用的理想工具。Z轴纳米定位线性位移台是基于压电压电陶瓷驱动的线性位移台，本系列产品包含X、XY、XZ、XYZ产品可供用户选择。该系列纳米位移台采用高可靠多层低压压电叠堆陶瓷作为驱动元件，利用有限元优化的集成态挠性导向系统可确保完美的平行运动。由于采用了无摩擦柔性机构，压电位移台无需维护，无磨损，并具有快速响应和快速稳定的性能，使其适用于动态过程，例如高频误差补偿，跟踪，快速步进或连续扫描。
闭环版本具有高分辨率应变片式位置传感器，可实现高精度和可重复的运动，还可以补偿压电陶瓷的的蠕变。传感器采用全闭环电桥设计。它可以在开环或闭环控制中运行。压电平台固定是通过移动面和底板上的螺纹孔实现的。若要安装到具有标准栅格的光学平台或其他组件上，请使用转接板转接。在紧固过程中，应避免过大的弯矩载荷和作用在移动面与外壳之间的侧向力，这些外力可能会损坏位移台。
产品特性
—紧凑型超薄设计：移动面为40x40mm
—超高定位及线性误差
—SGS闭环控制
可提供X向位移台、可升级XY、XZ和XYZ版本
选配功能
—可定制转接装置
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—定制安装转配孔
应用领域
—微加工、精密定位
—光纤定位、光学扫描
—纳米计量、质量保证
—干涉、扫描电镜